İletişim Numarası:
0262 606 19 64
UL6000 Fab Serisi

Helium Leak Detector

UL6000 Fab Series

UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS Leak Detectors

ULTRATEST sensor technology Sets new standards for speed and precision in leak testing.

Yarı İletken Uygulamaları İçin Helyum Kaçak Dedektörü Serisi

INFICON UL6000 Fab Ürün Serisi, en kritik ve zorlu kaçak tespit uygulamalarını karşılamak üzere tasarlanmıştır. INFICON’un özel yazılım algoritmaları I·CAL ve HYDRO·S, sahada kanıtlanmış vakum tasarımı ile birleşerek yüksek hassasiyet, test esnekliği ve hızlı, doğru sonuçlar sunar.

UL6000 serisi, tüm ölçüm aralıklarında en hızlı tepki sürelerini sağlar ve test koşullarına ulaşma süresini ve son test sonuçlarını önemli ölçüde kısaltır. Özel olarak tasarlanmış vakum mimarisi, sürekli yüksek helyum pompalama hızları sunarak son derece hızlı tepki süreleri sağlar.

Verimli Kaçak Testi

Kaçak tespiti, genellikle zaman alıcı ve karmaşık bir süreçtir. Yarı iletken ve vakum ekipmanları, sızdırmazlık testi sırasında sürekli olarak izlenir.

Kaçak tespit süreci şu aşamalardan oluşur:

  1. Basınç artış (Rate-of-Rise) yöntemi ile kaçakların genel tespiti.
  2. Helyum püskürtme yöntemiyle kaçak konumlarının belirlenmesi ve onarım işlemi.
  3. Vakum çöküş (Vacuum Decay) yöntemi ile son kaçak testi ve doğrulama.

Geleneksel yöntemlerde, büyük ekipman hacimleri nedeniyle ölçüm süreleri uzun olabilir.

I·RISE – Akıllı Basınç Artış Ölçüm Fonksiyonu
UL6000 Fab PLUS, I·RISE özelliği sayesinde basınç artış ölçümünü tamamen otomatik olarak gerçekleştirir ve bunu helyum püskürtme yöntemi ile birleştirir.

  • Patentli sistem, ölçüm sürelerini önemli ölçüde kısaltır.
  • Kaçak test süresini ve fab ekipman bakım süresini minimuma indirir.
  • Bağımsız olarak 10 saniyeden kısa sürede kesin ve hassas ölçümler sunaroda hacminden bağımsız olarak.

Optimize Edilmiş Kaçak Testi: SMART-Spray, I·BOOST ve SPRAY-Check

  • SMART-Spray Helyum Sprey Tabancası, büyük helyum tüplerine ve karmaşık hortumlara olan ihtiyacı ortadan kaldırarak kaçak tespit sürecini kolaylaştırır. Manuel helyum akış ayarlarını azaltarak hata riskini minimize eder ve düşük helyum tüketimiyle çalışır.
  • I·BOOST Yazılımı, kaçak tespit süresini %50’ye varan oranda kısaltır. Daha hızlı tepki süreleri ile farklı test odası hacimlerinde hassas ve verimli ölçümler yaparak test süreçlerini optimize eder.
  • SPRAY-Check, kaçak dedektörünüzün işlevselliğini ve çalışabilirliğini test etmek için özel olarak tasarlanmıştır. 10⁻⁹ ila 10⁻⁸ mbar∙l/s aralığında güvenilir testler sunar ve kaçak tespit sürecinde doğruluk sağlar.

AVANTAJLAR

Fab Ürün Serisi

  • ULTRATEST Sensör Teknolojisi ile yüksek hassasiyetli kaçak tespiti sağlar.
  • HYDRO-S (Hidrojen Bastırma Teknolojisi) sayesinde test koşullarına hızlı bir şekilde ulaşılır.
  • I-CAL (Akıllı Kaçak Oranı Hesaplama Algoritması), tüm ölçüm aralıklarında hızlı kaçak tespiti sunar.
  • Özel çok girişli turbomoleküler pompa, tüm basınç seviyelerinde yüksek helyum pompalama hızı ve hızlı tepki süresi sağlar.
  • Ekstra booster turbomoleküler pompa, büyük hacimli test odalarında bile ultra hızlı tepki süresi sunar.
  • INFICON’un saha kanıtlı manyetik sektör kütle spektrometresi, yıllarca bakım gerektirmeyen, hassas ve tekrarlanabilir sonuçlar sunar.
  • Kendi kendini koruma mekanizmaları, helyum ve partikül kontaminasyonuna karşı koruma sağlar.
  • Otomatik temizleme (auto-purge) döngüsü, UL6000’in her zaman kullanıma hazır olmasını sağlar.
  • Döndürülebilir ekran ve kontrol arayüzü, opsiyonel uzaktan kumanda desteği ile esnek kullanım sunar.
  • Cihaz erişim kontrolü, yetkisiz kullanım veya yanlış test ayarlarının değiştirilmesini önlemek için yazılım aracılığıyla sağlanabilir.
  • E-posta ile kolayca yazılım güncelleme, UL6000’in her zaman optimum performansta kalmasını sağlar.
  • Ergonomik iş istasyonu tasarımı, ideal çalışma yüksekliği, ESD matı ve test sürecini kolaylaştıran alet kutusunu içerir.

Fab PLUS Ürün Serisi

  • I·RISE (Akıllı Basınç Artışı Ölçüm Fonksiyonu), cihaz içi basınç artışı testini helyum püskürtme yöntemi ile birleştirir.
  • Basınç artış ölçümleri 10 saniyenin altında tamamlanır, bu sayede test süreleri önemli ölçüde azalır.
  • Genel kaçak testi süresini ve fab ekipman bakım süresini minimuma indirir.
  • Daha hızlı ve daha hassas ölçümler sağlar.

Tipik Uygulamalar

  • Yarı iletken ve düz panel ekran üretim araçlarında kullanılan bileşenler, alt montajlar ve büyük odalar için kaçak testi
  • Yarı iletken ve düz panel ekran üretim sistemlerinde kaçak testi
  • Havacılık sektöründeki bileşenler, alt montajlar ve sistemler için kaçak testi
  • Depolama kapları ve tanklarının kaçak testi

Teknik Özellikler