UL6000 Fab Serisi

Helium Leak Detector
UL6000 Fab Series
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS Leak Detectors
ULTRATEST sensor technology Sets new standards for speed and precision in leak testing.

Yarı İletken Uygulamaları İçin Helyum Kaçak Dedektörü Serisi
INFICON UL6000 Fab Ürün Serisi, en kritik ve zorlu kaçak tespit uygulamalarını karşılamak üzere tasarlanmıştır. INFICON’un özel yazılım algoritmaları I·CAL ve HYDRO·S, sahada kanıtlanmış vakum tasarımı ile birleşerek yüksek hassasiyet, test esnekliği ve hızlı, doğru sonuçlar sunar.
UL6000 serisi, tüm ölçüm aralıklarında en hızlı tepki sürelerini sağlar ve test koşullarına ulaşma süresini ve son test sonuçlarını önemli ölçüde kısaltır. Özel olarak tasarlanmış vakum mimarisi, sürekli yüksek helyum pompalama hızları sunarak son derece hızlı tepki süreleri sağlar.
Verimli Kaçak Testi
Kaçak tespiti, genellikle zaman alıcı ve karmaşık bir süreçtir. Yarı iletken ve vakum ekipmanları, sızdırmazlık testi sırasında sürekli olarak izlenir.
Kaçak tespit süreci şu aşamalardan oluşur:
- Basınç artış (Rate-of-Rise) yöntemi ile kaçakların genel tespiti.
- Helyum püskürtme yöntemiyle kaçak konumlarının belirlenmesi ve onarım işlemi.
- Vakum çöküş (Vacuum Decay) yöntemi ile son kaçak testi ve doğrulama.
Geleneksel yöntemlerde, büyük ekipman hacimleri nedeniyle ölçüm süreleri uzun olabilir.
I·RISE – Akıllı Basınç Artış Ölçüm Fonksiyonu
UL6000 Fab PLUS, I·RISE özelliği sayesinde basınç artış ölçümünü tamamen otomatik olarak gerçekleştirir ve bunu helyum püskürtme yöntemi ile birleştirir.
- Patentli sistem, ölçüm sürelerini önemli ölçüde kısaltır.
- Kaçak test süresini ve fab ekipman bakım süresini minimuma indirir.
- Bağımsız olarak 10 saniyeden kısa sürede kesin ve hassas ölçümler sunar – oda hacminden bağımsız olarak.
Optimize Edilmiş Kaçak Testi: SMART-Spray, I·BOOST ve SPRAY-Check
- SMART-Spray Helyum Sprey Tabancası, büyük helyum tüplerine ve karmaşık hortumlara olan ihtiyacı ortadan kaldırarak kaçak tespit sürecini kolaylaştırır. Manuel helyum akış ayarlarını azaltarak hata riskini minimize eder ve düşük helyum tüketimiyle çalışır.
- I·BOOST Yazılımı, kaçak tespit süresini %50’ye varan oranda kısaltır. Daha hızlı tepki süreleri ile farklı test odası hacimlerinde hassas ve verimli ölçümler yaparak test süreçlerini optimize eder.
- SPRAY-Check, kaçak dedektörünüzün işlevselliğini ve çalışabilirliğini test etmek için özel olarak tasarlanmıştır. 10⁻⁹ ila 10⁻⁸ mbar∙l/s aralığında güvenilir testler sunar ve kaçak tespit sürecinde doğruluk sağlar.
AVANTAJLAR
Fab Ürün Serisi
- ULTRATEST Sensör Teknolojisi ile yüksek hassasiyetli kaçak tespiti sağlar.
- HYDRO-S (Hidrojen Bastırma Teknolojisi) sayesinde test koşullarına hızlı bir şekilde ulaşılır.
- I-CAL (Akıllı Kaçak Oranı Hesaplama Algoritması), tüm ölçüm aralıklarında hızlı kaçak tespiti sunar.
- Özel çok girişli turbomoleküler pompa, tüm basınç seviyelerinde yüksek helyum pompalama hızı ve hızlı tepki süresi sağlar.
- Ekstra booster turbomoleküler pompa, büyük hacimli test odalarında bile ultra hızlı tepki süresi sunar.
- INFICON’un saha kanıtlı manyetik sektör kütle spektrometresi, yıllarca bakım gerektirmeyen, hassas ve tekrarlanabilir sonuçlar sunar.
- Kendi kendini koruma mekanizmaları, helyum ve partikül kontaminasyonuna karşı koruma sağlar.
- Otomatik temizleme (auto-purge) döngüsü, UL6000’in her zaman kullanıma hazır olmasını sağlar.
- Döndürülebilir ekran ve kontrol arayüzü, opsiyonel uzaktan kumanda desteği ile esnek kullanım sunar.
- Cihaz erişim kontrolü, yetkisiz kullanım veya yanlış test ayarlarının değiştirilmesini önlemek için yazılım aracılığıyla sağlanabilir.
- E-posta ile kolayca yazılım güncelleme, UL6000’in her zaman optimum performansta kalmasını sağlar.
- Ergonomik iş istasyonu tasarımı, ideal çalışma yüksekliği, ESD matı ve test sürecini kolaylaştıran alet kutusunu içerir.
Fab PLUS Ürün Serisi
- I·RISE (Akıllı Basınç Artışı Ölçüm Fonksiyonu), cihaz içi basınç artışı testini helyum püskürtme yöntemi ile birleştirir.
- Basınç artış ölçümleri 10 saniyenin altında tamamlanır, bu sayede test süreleri önemli ölçüde azalır.
- Genel kaçak testi süresini ve fab ekipman bakım süresini minimuma indirir.
- Daha hızlı ve daha hassas ölçümler sağlar.
Tipik Uygulamalar
- Yarı iletken ve düz panel ekran üretim araçlarında kullanılan bileşenler, alt montajlar ve büyük odalar için kaçak testi
- Yarı iletken ve düz panel ekran üretim sistemlerinde kaçak testi
- Havacılık sektöründeki bileşenler, alt montajlar ve sistemler için kaçak testi
- Depolama kapları ve tanklarının kaçak testi
Teknik Özellikler
Minimum Tespit Edilebilir Kaçak Oranı
- Vakum yöntemi: <5×10⁻¹² mbar∙L/s
- Sniffer modu: <5×10⁻⁸ mbar∙L/s
Maksimum Giriş Basıncı
- MASSIVE Modu: ~1013 mbar (Atmosferik Basınç)
Vakum Pompası
- Ön vakum pompa tipi: Roots
- Ön vakum pompası maksimum pompalama hızı: >36 m³/h
- Giriş pompalama hızı:
- 100-1000 mbar: 23 m³/h
- 10-100 mbar ve 1-10 mbar: 26 m³/h
Helyum Pompalama Kapasitesi
- ULTRA Modu: >36 L/s
- DN63 bağlantısından DN40’a düşürüldüğünde: ~30 L/s
Tepki Süreleri
- 50 L için tepki süresi: 1.4 s
- 1 mbar’a kadar tahliye süresi:
- 50 L: 52 s
- 100 L: 104 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 500 L: 527 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 1000 L: 1054 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 50 L atmosferik basınca havalandırma süresi: 16 s
- Çalışma için başlatma süresi: <2 dakika
- Kalibrasyon süresi: <30 s
Bağlantılar & Elektriksel Özellikler
- Giriş flanşı: DN63 ISO-K
- Tespit edilebilir kütleler (ULTRATEST Sensör Teknolojisi): 2, 3, 4 (H₂, ³He, He)
- Besleme gerilimi: 100 – 230V, 50/60 Hz
- Maksimum güç tüketimi: 1500 VA
- Tipik güç tüketimi: 700 VA
Fiziksel Özellikler
- Ağırlık: 143 kg
- Boyutlar (UxGxY):
- mm: 1050 x 427 x 1040
- inç: 42 x 21 x 41
Minimum Tespit Edilebilir Kaçak Oranı
- Vakum yöntemi: <5×10⁻¹² mbar∙L/s
- Sniffer modu: <5×10⁻⁸ mbar∙L/s
Maksimum Giriş Basıncı
- MASSIVE Modu: ~1013 mbar (Atmosferik Basınç)
Vakum Pompası
- Ön vakum pompa tipi: Roots
- Ön vakum pompası maksimum pompalama hızı: >36 m³/h
- Giriş pompalama hızı:
- 100-1000 mbar: 23 m³/h
- 10-100 mbar ve 1-10 mbar: 26 m³/h
Helyum Pompalama Kapasitesi
- ULTRA Modu: >36 L/s
- DN63 bağlantısından DN40’a düşürüldüğünde: ~30 L/s
Tepki Süreleri
- 50 L için tepki süresi: 1.4 s
- 1 mbar’a kadar tahliye süresi:
- 50 L: 52 s
- 100 L: 104 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 500 L: 527 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 1000 L: 1054 s (Ekstrapole edilmiştir)
- 50 L atmosferik basınca havalandırma süresi: 16 s
- Çalışma için başlatma süresi: <2 dakika
- Kalibrasyon süresi: <30 s
- Basınç artış ölçüm süresi (I·RISE): <10 s
Bağlantılar & Elektriksel Özellikler
- Giriş flanşı: DN63 ISO-K
- Tespit edilebilir kütleler (ULTRATEST Sensör Teknolojisi): 2, 3, 4 (H₂, ³He, He)
- Besleme gerilimi: 100 – 230V, 50/60 Hz
- Maksimum güç tüketimi: 1500 VA
- Tipik güç tüketimi: 700 VA
Fiziksel Özellikler
- Ağırlık: 143 kg
- Boyutlar (UxGxY):
- mm: 1050 x 427 x 1040
- inç: 42 x 21 x 41
550-520 | UL6000 Fab |
550-530 | UL6000 Fab PLUS |
551-050 | SMART-Spray ***NEW |
551-600 | I·BOOST software license***NEW |
551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
551-225 | DN63-ISO K Connection Kit (1x hose 1 m, 1x 90° elbow, 2x center ring, 2x clamp set) |
551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
551-202 | Vacuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
551-203 | Bracket for SL3000 |
551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
551-201 | Helium Bottle Holder |
560-310 | I/O 1000 module |
560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
560-317 | BM1000 DeviceNet module |
560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
560-332 | Data Cable 2 m |
560-335 | Data Cable 5 m |
560-340 | Data Cable 10 m |
551-600 | I·BOOST software license***NEW |
551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |