Transpector CPM 3

Performans, Güvenilirlik ve Çok Yönlülük
INFICON Transpector CPM, on yıldan uzun süredir yarı iletken endüstrisinde pazar lideri Kalan Gaz Analizörü (RGA) proses izleme sistemidir. Şimdi Transpector CPM 3, yeni bir sensör ve elektronikle entegre edilmiş, sahada kanıtlanmış bir pompalama ve giriş sistemi aracılığıyla endüstri lideri ölçüm hızı ve hassasiyeti sağlar. Transpector CPM 3, ALD, CVD, PVD ve Etch gibi yeni ve yerleşik yarı iletken prosesleri için ideal RGA proses monitörüdür.

Transpector CPM 3, ortaklarımıza aşağıdakiler aracılığıyla kanıtlanmış yatırım getirisi sağlar:

Sektör Lideri Ölçüm Teknolojisi
Sağlam ve Uyarlanabilir Mimari
Kolay Bakım
Üstün Ürün Desteği

Özellikler
ALD, Etch, CVD ve 300 mm Degas için Artık Gaz Analizörü—gerçek zamanlı proses izleme ve analizini mümkün kılar
Nokta başına 1,8 ms (saniyede 555 nokta) ölçüm hızıyla ALD-Ready
En zorlu CVD ve Etch uygulamalarında sahada kanıtlanmış dayanıklılık ve güvenilirlik
Uygulama Entegrasyonu—Transpector CPM, FabGuard yazılımıyla entegre edildiğinde ve INFICON dünya standartlarında uygulama uzmanları tarafından desteklendiğinde güçlü bir proses izleme ve teşhis aracı haline gelir
Kompakt boyut—üretim yarı iletken ekipmanlarına kolay entegrasyon sağlar
Yüzey reaksiyonlarını ve tepki sürelerini en aza indirmek için üç adede kadar basınç girişi ve azaltılmış yüzey alanına sahip Hexblock™
Kapasitans Diyafram Ölçer (CDG)—CDG, kullanıcının proses basıncını izlemesine ve sistemi otomatik olarak basınçtan korumasına olanak tanır geziler
Otomatik kalibrasyon—sensörden sensöre ve aletten alete hazne eşleştirmesi için uzun vadeli veri kararlılığı ve doğruluğu sağlar