Transpector SPS

Hedef basınç aralığında proses izleme

INFICON Transpector® Tek Basınçlı Örnekleme (SPS) Kalıntı Gaz Analizörü, hedeflenen yüksek basınçlı prosesler için en iyi yarı gofret ve ekran paneli korumasını sağlar. Transpector SPS, tek basınçlı uygulamalar için en hassas hava kaçağı ve proses kontaminasyonu tespiti ile gofret ve panel hurdasını en aza indirir. Hem gofret ve panel çıkışlarının kalitesini hem de sayısını garantilemek için hem sektör lideri tespit limitleri hem de ölçüm hızları sunar.

Transpector SPS, kararlı, yüksek basınçlı prosesler için en güvenilir proses izlemeyi sağlayarak proses verimini ve randımanını en üst düzeye çıkarır. Cihaz, basit ve uygun maliyetli bir giriş sistemini, sahada kanıtlanmış bir iyon kaynağı ve pompalama paketiyle birleştirerek düşük riskli ve yüksek ödüllü bir gaz analiz çözümü sunar. Genel vakum ve endüstriyel uygulamalar için ideal olan Transpector SPS, Vakum Ark Yeniden Eritme (VAR) gibi metalurji ve ısıl işlem uygulamaları için kanıtlanmış bir çözümdür. Transpector SPS yapılandırılabilir ve belirli uygulamalara ve bütçelere göre uyarlanabilir. Standart delik, kılcal ve baypas hattı kombinasyonları, 1E-4 Torr’dan atmosfere kadar olan proses basınçlarını örneklemek için seçilebilir. Aşındırıcı dirençli giriş, iyon kaynağı ve pompalama paketi, aşındırma, CVD, ALD ve diğer agresif gaz proseslerinde dayanıklılık için tasarlanmıştır.

Avantajlar
Tek basınç örnekleme girişiyle gofret ve panel koruması için toplam sahip olma maliyetini en aza indirin; Difüzyon, Epitaksi ve RTP gibi yüksek basınçlı prosesler için idealdir
Sürekli yüksek basınçlı prosesler için en düşük seviyede hava kaçağı ve kontaminasyon tespiti sağlar
Güçlü veri toplama ve senkronizasyon yoluyla kusursuz fabrika entegrasyonu ve güvenilir müdahale
Özel reçete optimizasyonuyla benzersiz üretim yeteneklerini geliştirir
Uzmanlardan anında yerinde yanıtla kritik proses ihtiyaçlarını korur