Transpector® APX ALD Single Pressure

Tek Basınçlı ALD/CVD ve Aşındırma için Gelişmiş Proses Uzmanı

Hurdayı En Aza İndirin ve Gerçek Zamanlı Verimi En Üst Düzeye Çıkarın
INFICON Transpector APX, yarı iletken ve ekran proses izleme için pazar lideri Kalan Gaz Analizörü (RGA) olmaya devam ediyor. INFICON, yarı iletken ve ekran müşterilerinin benzersiz ihtiyaçları olduğunu biliyor ve Transpector APX’in en son revizyonu, sektör lideri ölçüm hızı ve hassasiyetini korurken belirli uygulama gereksinimlerini karşılamak için daha fazla esneklik sağlıyor. Transpector APX, ALD, CVD, PVD ve Etch gibi yarı iletken prosesleri için ideal RGA proses monitörüdür.

Yeni nesil Transpector APX ALD Tek Basınçlı giriş sistemi, ALD veya PECVD gibi partikül veya kaplama oluşumuna eğilimli proses kimyalarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Bu, tüm kritik proses adımlarında veri noktalarını yakalamak için sürekli izleme sağlar. Ayrıca giriş, oda temizliği uç nokta izleme uygulamaları için gerekli olan aşındırıcı gazlara karşı direnç için sıcaklık kontrollüdür.