Quantus HP100
Gerçek zamanlı Sızıntı Tespiti, Son Nokta Tespiti ve Proses İzleme
INFICON Quantus HP100 gaz analizörü, Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy (SPOES) teknolojisine dayanır ve yarı iletken üretimi sırasında gerçek zamanlı kaçak tespiti, uç nokta tespiti ve proses izleme sağlamak üzere tasarlanmıştır. Quantus HP100, mükemmel hassasiyete, kompakt bir form faktörüne sahiptir ve pahalı pompalar olmadan geniş bir çalışma basıncı aralığı sunar, bu da onu çoğu yarı iletken aletinde proses izleme ve koruma için uygun hale getirir.
Özellikler
- Argon için 1 Torr – 450 Torr ve Azot için 1 Torr – 120 Torr çalışma aralığı (Diğer gaz türleri için değişir)
- Düşük tespit limitleri <1 ppm
- Standart KF25 bağlantısı kullanılarak kolay kurulum
- Hızlı örnekleme (maksimum 20 Hz)
- Küçük ayak izi (Y x G x U): 6,4 x 6,0 x 8,3 inç [162 x 153 x 210 mm]
- Düşük bakım, pompa veya sarf malzemesi gerekmez
- Kullanışlı, sahada değiştirilebilir plazma hücresi
- Özel süreç ihtiyaçlarınız için dünya çapında uzman desteği